極微量分析を可能にする
パージ機能付ダイアフラムバルブ


- ロータリーバルブよりも低リークを実現
- 独自の特許取得済みパージ機能
- 大気の漏れ込みを防ぎたいアプリケーションに最適
- 真空アプリケーション対応のオプションもご用意
- 省スペースで高性能、長寿命

AFPのダイアフラムバルブは、いろいろなオプションを用意してます。
- SS-316L(標準)、 SilcoNert2000™、Dursan™、Hastelloy®、
チタンなど、さまざまなタイプのバルブヘッド - 接続ポートは1/16″(標準)、LipSeal1/16″、VCR1/8″
- 最高使用温度は、100、180、250℃の3種類

アクチュエーターの動作圧力は450kPa(65psi)1回の動作で使用するガスの量は0.75~1.0ccと極少量
ELDV1 スタンダード パージ付きダイアフラムバルブ |
ELDV2 ハイパフォーマンス パージ付きダイアフラムバルブ |
MDVG プレミアム パージ付きダイアフラムバルブ |
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最高使用圧力 | KPa(psi) | 2068(300) | 2068(300) | 3450(500) |
最高使用温度 | LT 100℃ | ○ | ○ | ○ |
MT 180℃ | -- | ○ | ○ | |
HT 250℃ | -- | -- | ○ | |
リークレート | ポート間 (689KPa/100psi) |
5.0x10‐10m-cc/sec He | 9.4x10-12Atm-cc/sec He | 6.0x10-13Atm-cc/sec He |
内外間 | 1.0x10-10Atm-cc/sec He | 4.7x10-12Atm-cc/sec He | 3.0x10-13Atm-cc/sec He | |
ダイアフラムの寿命 (駆動回数) |
LT:100万回 | MT:70万回 | HT:50万回 |
※一般的に、ロータリーバルブの駆動寿命は約2万回といわれています。