大気の漏れ込みがなく極微量分析が可能に
- 独自の特許取得済みパージ機能
- 大気の漏れ込みが影響するアプリケーションに最適
- 真空アプリケーション対応のオプションもご用意
- 省スペースで高性能、高寿命
- 切替スピードが速い
| MDVG プレミアム パージ付きダイアフラムバルブ |
ELDV2 ハイパフォーマンス パージ付きダイアフラムバルブ |
ELDV1 スタンダード パージ付きダイアフラムバルブ |
EBDV 14方ダイアフラムバルブ |
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| ポート数 | 6、10、4(内部サンプル計量) | 14 | |||
| ポート径 mm(インチ) | 0.76(0.03、標準)、0.25(0.01) | 0.76(0.03) | |||
| 最高使用温度 | LT 100℃ | ○ | ○ | ○ | – |
| MT 180℃ | ○ | ○ | – | ○ | |
| HT 250℃ | ○ | – | – | – | |
| バルブヘッド材質 | SS316L(標準)、Hastelloy® | SS316L | |||
| バルブベッド不活性処理 | SilcoNert2000®、Dursan® | – | |||
| ダイアフラム材質 | ポリイミド(標準)、ポリイミド+テフロンコーティング(100℃まで) | ||||
| アクチュエータ動作圧力 kPa(psi) | 450(65) | 345(50) | |||
| アクチュエータガス使用量 | 1cc以下 / 1 ON-OFF | ||||
| 最高使用圧力 kPa(psi) | 3450(500) | 2068(300) | 2068(300) | 1035(150) | |
| リークレート Atm-cc/sec He | ポート間 (689kPa/100psi) |
6.0ｘ10-13 | 9.4ｘ10-12 | 5.0ｘ10‐10 | – |
| 内外間 | 3.0ｘ10-13 | 4.7ｘ10-12 | 1.0ｘ10-10 | 1.0ｘ10-6 | |
| ダイアフラムの寿命(駆動回数) | HT：50万回 MT：70万回 LT：100万回 | ||||
※一般的に、ロータリーバルブの駆動寿命は約2万回といわれています。