新オプション追加のお知らせ

キャリアガス切替器に超低リークバルブを2種類追加いたしました。

MS用バルブ(オプション – MS)

• MS用の高性能超低リークバルブを採用
• ヘリウム、水素キャリアガスのどちらにも使用可能
• 水素キャリアガスと窒素ガスの切替えにも対応

3種ガス切替用バルブ(オプション – X)

• ヘリウム、水素をキャリアガスとして切替え可能
• キャリアガス(ヘリウム/水素)の選択は手動、窒素ガスへの切替えは自動

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